ПЛАЗМОХИМИЯ

ПЛАЗМОХИМИЯ,

изучает химические процессы в низкотемпературной плазме и основы плазмохимической технологии. Типичные промышленные плазмохимические процессы — синтез ацетилена из природного газа, производство сверхчистых материалов, напр. пленок кремния, используемых в полупроводниковой электронике.